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日本新宇宙XP-703D 泄漏检测（半导体用）

简要描述：一、特点：最适用于半导体材料气体的超微量泄漏检测

  • 产品型号：日本新宇宙
  • 厂商性质：
  • 更新时间：2024-07-16
  • 访  问  量：2449
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一、特点：
最适用于半导体材料气体的超微量泄漏检测。
通过报警灯及蜂鸣器即可得知气体泄漏。

二、技术参数:

型号

　XP-703D

检测原理

　热线型半导体式

检测对象气体

　半导体材料气体（砷化三氢、磷化氢、乙硼烷、硅烷等）

能检测的泄漏量



能检测的浓度

　 砷化三氢

　
AsH3

　
1.0 ×10-7

　
0.2　　　　　　　　　　

　磷化氢

　
PH3

　
1.5 ×10-7

　
0.3

　乙硼烷

　
B2H6

　
0.5 ×10-7

　
0.1

　硅烷

　
SiH4

　
2.5 ×10-7

　
0.5

　氢气

　
H2

　
5 ×10-7 Pa·m3 /s

　
1.0 ppm

应答时间

　10秒

检测表示

　蜂鸣器发出断续音且报警灯闪烁

电源

　5号锰干电池4节

电池使用时间※1

　使用碱性干电池使用约9小时（使用锰干电池约3小时）

使用温度范围

　0℃~40℃

外形尺寸

　W68×H155×D32mm

重量

　约400g（包括电池）

附件

　皮套、吸引过滤器、过滤片、检查气体、标准辅助橡胶管、5号锰干电池4本

另售的选购品

　Ni-Cd电池专用充电器、耳机

※1 也可使用碱性干电池、Ni-Cd电池。


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